micromachined相关论文
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
提出了一种适合无驱动结构硅微机械陀螺信号线性补偿的新算法，通过补偿理论分析、软件程序编写和调试、硬件电路的构建与实现、实际......
An air parametric array can generate a highly directional beam of audible sound in air,which has a wide range of applica......
由于无驱动结构硅微机械陀螺的特殊性，其输出信号受自转频率的影响很大，为非线性的，这种动态特性使陀螺无法实用化，因此提出了一种适合......
本文介绍了一种新型的压电振动微机械陀螺，与其它大多数压电陀螺不同，它不需要弹性元件，由压电材料本身构成振子完成陀螺功能，由ＰＺＴ薄膜材......
设计并制做了一种新型多重嵌套悬臂梁结构的磁致动微机械偏转器。偏转器由１．２μｍＣＭＯＳ工艺和各向异性腐蚀工艺制成。致动原理是电流与磁场的......
这份报纸建议调节叉回转仪(M-TFG ) 到 decouple 的 micromachined 的一个改进图案在更好并且到增加分辨率驾驶并且察觉到指示之间......
In order to find out the influence of the instability of angular velocity of the rotating carrier itself on the stabilit......
阐明了所研制的微机械陀螺可用于检测旋转体的自旋频率。首先，根据微机械陀螺结构特点和工作原理得出陀螺榆出信号的频率取决于陀螺......
设计了一种解耦的微机械陀螺，它能够极大地降低正交误差信号的影响，从而大大地提高佗螺的性能；制造了一批样机，进行了初步的驱动特性和......
为了提高基于栅结构电容检测式微机械加速度传感器的数模混合式系统的检测精度，在Simulink仿真平台上建立系统仿真模型，用以分析影响......
本文根据微加速度计的结构特点，分析了单晶硅的力学特性，并且利用有限元方法对微电容式加速度计敏感芯片弹性梁的刚度、应力、应变进......
基于硅微机械传感器的技术特点 ,分析了这类传感器的发展趋势 ,同时指出了它进一步发展中急需解决的几个问题更多还原......
Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT) technology, which has been widely studied in the field of medical ......
